上海夜生活论坛国内首条12英寸先进传感器研发中试线在上海嘉定成功通线

admin

　　上海夜生活论坛国内首条12英寸先进传感器研发中试线在上海嘉定成功通线随着上海市加快推进城市数字化转型，物联网络越织越密，先进传感器产业蓬勃发展。“面向新兴技术发展和市场应用需求，创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、上海夜生活论坛新器件等关键共性技术，重点突破光学、声学、力学等先进传感器的核心工艺，并推动相关产品及应用的产业化。”创新中心相关负责人表示，未来，将重点搭建共性技术平台，专注于先进传感器特色工艺研发和中试。该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，可提供产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务。目前，创新中心已联合中国传感器与物联网产业联盟的1000余家企业开展共性技术研发，形成的“产、学、研、用”协同创新机制，将加速国内先进传感器及相关应用的核心技术发展，推动智能传感、物联网、人工智能的生态体系建设。硅片一旦沾染微尘，就可能失效，因此中试线必须在无尘室下作业，而这种高标准厂房的建设要求极高，其中，最为严苛的是十级洁净室，即一分钟内每立方英尺的空间内大于0.2微米的微尘必须少于10颗。上海夜生活论坛为此，嘉定区相关部门第一时间为该项目寻找合适的厂房，并服务整个项目进程。
　　嘉定区科委主任谢东升表示，加快建设国内首条12英寸先进传感器中试线，有利于打造一个集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台，推进区域内产、学、研、用的协同发展。“以研发中试线为支点，可以撬动更多创新企业和高层次人才团队来到嘉定，开展产品技术研发。通过整合区内产业孵化器、产业基金等资源，助力嘉定打造千亿级智能传感器及物联网产业。”
　　2021年1-5月，嘉定区智能传感器及物联网产业总产出99.6亿元。目前，嘉定区内已集聚智能传感器及物联网企业超200家，初步覆盖产业链上中下游各环节，拥有国家集成电材料技术创新中心等7个公共服务性平台以及2个集成电基金。
　　Content [contId=13432501, name=国内首条12英寸先进传感器研发中试线在上海嘉定成功通线, createTime=Sat Jul 03 19:32:47 CST 2021, updateTime=Sat Jul 03 20:28:53 CST 2021, publishTime=Sat Jul 03 20:28:53 CST 2021, ]